超高真空（Ultra-High Vacuum, UHV）是指压力低于1×10^-7帕斯卡，甚至可以达到1×10^-10帕斯卡以下的极端低压环境。

真空可以根据其压力范围进行分类，通常分为五个等级：低真空、中真空、高真空、超高真空和极高真空。这些分类基于真空度的不同，即单位面积上剩余气体分子的数量不同：